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SONOSYS 13407-071+噴嘴13792-004 2+3MHz雙頻在掩膜清洗 用途介紹

更新時(shí)間：2026-02-12      瀏覽次數(shù)：39

德國(guó) SONOSYS® 雙噴嘴兆聲波清洗系統(tǒng)，專為單晶圓、掩膜、LCD 基板及 MEMS 等精密部件設(shè)計(jì)。采用多頻率組合技術(shù)（1MHz+2MHz/1MHz+3MHz/2MHz+3MHz/2MHz+4MHz），每束 35W 能量聚焦于 2×4mm 微小區(qū)域，實(shí)現(xiàn)高效非接觸式清洗，避免機(jī)械損傷，潔凈度可達(dá)優(yōu)良制造嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。


【產(chǎn)品參數(shù)】
? 模塊化兆聲波發(fā)生器

  • 電氣參數(shù)：輸出功率 70W（MLM 1+MLM 2），調(diào)節(jié)范圍 20%-100%；頻率覆蓋 950kHz-1.05MHz、1.95MHz-2.05MHz、2.95MHz-3.05MHz、3.95MHz-4.05MHz；電源 230VAC 50-60Hz。

  • 機(jī)械參數(shù)：19 英寸機(jī)架 3/4U 設(shè)計(jì)，外形尺寸 28 HP（165×185×329mm），重量約 5.2kg。

  • 運(yùn)行條件：環(huán)境溫度 10℃-40℃，濕度禁止凝結(jié)水。

? 兆聲波雙噴嘴

  • 電氣參數(shù)：高壓輸入 2×35W，適配 1/2/3/4MHz 頻率；換能器采用特殊 PZT 壓電陶瓷；3 米屏蔽高壓電纜（Φ4.5mm PTFE 材質(zhì)），噴嘴與匹配盒電纜長(zhǎng) 20cm（ 50cm）。

  • 機(jī)械參數(shù)：外尺寸 74×79.8×37mm，重量約 600g；液體接口 2×1/8" NPT，最小流量 2×1.0L/min，適用溫度 20℃-60℃；噴嘴距待清洗物距離 5-20mm 可調(diào)。

【適用場(chǎng)景】
? 半導(dǎo)體行業(yè)：?jiǎn)尉A表面微小顆粒、有機(jī)物殘留清洗
? 光刻工藝：掩膜版高精度去污，保障圖案轉(zhuǎn)移精度
? 顯示面板：LCD/OLED 基板潔凈度提升，優(yōu)化顯示效果
? 微機(jī)電系統(tǒng)：MEMS 器件微小結(jié)構(gòu)內(nèi)部完整清潔

【訂貨信息】：

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【品牌保障】
德國(guó) SONOSYS® Ultraschallsysteme GmbH 原廠出品，專注兆聲波清洗技術(shù)研發(fā)，品質(zhì)可靠。支持技術(shù)咨詢與定制化方案，提供完善售后服務(wù)。



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