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otsukael積分光度計(jì)

otsukael積分光度計(jì)除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實(shí)現(xiàn)自動(dòng)可變測(cè)量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外，還通過為延遲板提供自動(dòng)安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測(cè)量精度。

產(chǎn)品型號(hào)：SLS-6500HL
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2025-06-26
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　　otsukael靜態(tài)光散射光度計(jì) 積分光度計(jì)SLS-6500HL的介紹

　　除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實(shí)現(xiàn)自動(dòng)可變測(cè)量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外，還通過為延遲板提供自動(dòng)安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測(cè)量精度。

　　特征：

　　可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內(nèi)測(cè)量橢圓參數(shù)

　　能夠分析納米級(jí)多層薄膜的膜厚

　　通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測(cè)量橢圓光譜

　　支持通過可變反射角測(cè)量對(duì)薄膜進(jìn)行詳細(xì)分析

　　通過創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊(cè)功能提高可操作性

　　測(cè)量項(xiàng)目

　　橢圓參數(shù)(tanψ，cosΔ)測(cè)量

　　光學(xué)常數(shù)(n：折射率，k：消光系數(shù))分析

　　膜厚分析

　　測(cè)量對(duì)象

　　半導(dǎo)體ウェーハ

　　ゲート酸化薄膜，窒化膜

　　SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN

　　レジストの光學(xué)定數(shù)(波長分散)

　　化合物半導(dǎo)體

　　AlxGa(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン

　　FPD

　　配向膜

　　各種新素材

　　DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導(dǎo)用薄膜，磁気ヘッド薄膜

　　光學(xué)薄膜

　　TiO2，SiO2，反射防止膜

　　リソグラフィー分野

　　g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長におけるn，k評(píng)価

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