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UGAPM系列—多達300臺amu氣體分析儀
UGAPM系列過程監(jiān)控系統(tǒng)
UGAPM系列過程監(jiān)控系統(tǒng)是為分析過程氣體而設計的現(xiàn)代質譜儀。它們的工作壓力從20托到1毫托。
入口以低流速(大約5x10-5毫巴升/秒)使該儀器非常適合在線分析.
UGAPM的應用包括CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空鍍膜/等離子蝕刻、蒸發(fā)、濺射沉積、
真空熱處理、目標老化、泄漏檢測/虛擬泄漏/解吸、污染研究、小體積分析(0.1 mL范圍)等。
這些分析儀也易于操作和維護。所有組件都可以通過前面板或遠程計算機進行控制。在UGAPM系統(tǒng)
中，外徑為1/16"或1/8"的不銹鋼毛細管用于容納半真空取樣。利用這種配置，在處理室和分析器之間
幾乎沒有死體積。
操作原理
UGAPM系統(tǒng)使用單級毛細管減壓入口從1毫托到20托對氣體進行采樣。在壓力降低到大約10-6托氣流
被送至質譜儀(殘余氣體分析儀RGA ),該質譜儀測量每種目標質量的濃度。
UGAPM Windows軟件為復雜的繪圖和數(shù)據(jù)分析提供了一個圖形用戶界面。該軟件還允許遠程控制系
統(tǒng)的閥門、加熱器和泵。
多毛細管入口
可選的多入口閥有兩種可能的配置。一種是多通道配置，它可以在不同的地方應用于特定的樣品壓力。
另一種是多量程配置，可適用于各種不同的樣品壓力范圍。
更新時間：2023-10-30 
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